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【GB/T 17866-1999】 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
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| 标准号： |
GB/T 17866-1999 |
该书一般在1-2天内发货 |
| 标准名称： |
掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 |
| 纸书定价： |
12元
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标准简介：
本标准的目的是制定一套可用于评估掩模缺陷检查系统灵敏度的测试掩模。这套测试掩模包括：含特制图形缺陷的测试芯片，以及不含特制图形缺陷的参考测试芯片。由于测试芯片是由各种单元集合而成，所以在本标准中，测试芯片是用单元图形、单元图形中的特制缺陷、以及单元的布局来定义的。此外，测试掩模是通过规定测试芯片的排列来定义的。本标准还讲述这套掩模的用法。
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| 标准号： |
GB/T 17866-1999 |
| 标准中文名： |
掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 |
| 标准英文名： |
Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems |
| 替代标准： |
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| 开本： |
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| 页数： |
13 |
| 字数： |
21千字 |
| ICS： |
31.200 |
| 中标分类号： |
L56 |
| 采用标准： |
SEMI P23-1993,IDT |
| 归口单位： |
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| 起草单位： |
GB |
| 发布单位： |
国家质量技术监督局 |
| 发布日期： |
1999-9-13 |
| 实施日期： |
2000-6-1 |
| 作废日期： |
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标准个数： |
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| 作者： |
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| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 翻译： |
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| 目录： |
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| 是否有效： |
现行有效 |
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