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【GB/T 17865-1999】 焦深与最佳聚焦的测量规范
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| 标准号： |
GB/T 17865-1999 |
该书一般在1-2天内发货 |
| 标准名称： |
焦深与最佳聚焦的测量规范 |
| 纸书定价： |
8元
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标准简介：
本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚集与焦深测量问题。由于设备技术多种多样，因而不可能提出这些参数的明确测量方法。本标准只提供基本准则。
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| 标准号： |
GB/T 17865-1999 |
| 标准中文名： |
焦深与最佳聚焦的测量规范 |
| 标准英文名： |
Specification for measuring depth of focus and best focus |
| 替代标准： |
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| 开本： |
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| 页数： |
10 |
| 字数： |
15千字 |
| ICS： |
31.200 |
| 中标分类号： |
L56 |
| 采用标准： |
SEMI P25-1994,IDT |
| 归口单位： |
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| 起草单位： |
GB |
| 发布单位： |
国家质量技术监督局 |
| 发布日期： |
1999-9-13 |
| 实施日期： |
2000-6-1 |
| 作废日期： |
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标准个数： |
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| 作者： |
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| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 翻译： |
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| 目录： |
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| 是否有效： |
现行有效 |
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立即订购 |
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