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【GB/T 17864-1999】 关键尺寸(CD)计量方法
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| 标准号： |
GB/T 17864-1999 |
该书一般在1-2天内发货 |
| 标准名称： |
关键尺寸(CD)计量方法 |
| 纸书定价： |
8元
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标准简介：
本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题，也不涉及工艺中其他影响因素的变化，如大圆片的热处理、曝光机的聚集控制、以及材料等。
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| 标准号： |
GB/T 17864-1999 |
| 标准中文名： |
关键尺寸(CD)计量方法 |
| 标准英文名： |
CD Metrology procedures |
| 替代标准： |
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| 开本： |
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| 页数： |
10 |
| 字数： |
15千字 |
| ICS： |
31.200 |
| 中标分类号： |
L56 |
| 采用标准： |
SEMI P24-1994,IDT |
| 归口单位： |
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| 起草单位： |
GB |
| 发布单位： |
国家质量技术监督局 |
| 发布日期： |
1999-9-13 |
| 实施日期： |
2000-6-1 |
| 作废日期： |
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标准个数： |
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| 作者： |
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| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 翻译： |
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| 目录： |
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| 是否有效： |
现行有效 |
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